行業解決方案
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氧化擴散、LPCVD
氧化擴散、LPCVD
1、硅片濕氧、干氧氧化
2、硅片磷硼摻雜、擴散、鈍化
3、硅片Drive in、BPSG回流
4、 低壓沉積SIN、SIO2、POLY、PSG薄膜
氧化擴散、LPCVD
1、硅片濕氧、干氧氧化
2、硅片磷硼摻雜、擴散、鈍化
3、硅片Drive in、BPSG回流
4、 低壓沉積SIN、SIO2、POLY、PSG薄膜