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氧化擴散、LPCVD

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    1、硅片濕氧、干氧氧化

    2、硅片磷硼摻雜、擴散、鈍化

    3、硅片Drive in、BPSG回流

    4、 低壓沉積SIN、SIO2、POLY、PSG薄膜 


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